主要完成单位：博世力士乐中国
博世力士乐针对半导体、航天、真空镀膜等高端制造领域研发的划时代线性传动产品。其通过三大核心技术突破，彻底解决了传统导轨在高温、真空及超净环境中的系统性失效问题：
一、颠覆性材料与工艺创新
· MIM全金属结构：采用金属注射成型（MIM）技术替代传统工程塑料，关键部件耐温性提升至300℃以上，彻底消除高温变形与放气污染风险。
· 无滚珠链与纵向密封：首创无滚珠链设计，消除微粒脱落源；取消纵向密封件，避免密封材料在真空环境下的挥发污染，洁净等级达ISO 14644-1 Class S级（高于行业通用Class 1标准）。
二、革命性润滑与排气设计
· 出厂无润滑：通过自润滑金属复合材料与表面微织构技术，实现终身免维护运行，规避润滑脂在真空环境挥发造成的设备污染与性能衰减。
· 双排气通道：导轨两侧集成专利排气孔，加速真空腔体抽气过程，提升设备节拍效率30%以上，同时避免气体滞留导致的运动稳定性下降。
三、极端环境性能指标
推广应用
1. 高端真空装备：在PVD设备及CVD设备中实现批量应用，支撑国产设备真空腔体温度均匀性提升至±1℃（原±5℃）。
2. 新兴领域拓展：
o 航天领域：用于卫星推进剂加注机器人，通过-196℃液氮环境测试；
o 医疗设备：适配质子治疗仪真空束流传输系统，满足医疗级洁净要求。
“该导轨使蚀刻机平均无故障时间（MTBF）从4000小时提升至8000小时，晶圆污染率降低至百万分之一以下。”
