主要完成单位：上海新时达机器人有限公司
新时达众为兴半导体晶圆传输机器人系列产品的整体性能已达到国际先进水平，于半导体制造中的晶圆衬底制造，以及前道制程和后道制程的氧化、扩散、刻蚀、清洗、键合等多个工艺环节,实现了晶圆传输机器人的进口替代。
半导体晶圆传输机器人所在的工业机器人细分市场，长期被进口品牌"卡脖子"。以美日为主的进口品牌占据了国内超 90%的市场份额。近年来，虽有越来越多的国产品牌推出晶圆传输机器人产品，但大多未能达成全自主可控，仍面临被进口供应商“卡脖子”的风险。尤其是机器人的控制系统和驱动器，依赖日本安川、松下三菱、以色列Elmo、高创等进口品牌；控制软件算法依赖 Codesys等。并且，这些国产品牌往往只能采用控制和驱动分离的分体式控制，与进口品牌机器人的驱控一体控制系统相比，控制器体积较大，在空间资源极为宝贵的半导体洁净室部署中处于不利地位。
为从根本上解决半导体行业晶圆传输机器人“卡脖子“难题，为中国半导体设备商提供晶圆传输机器人国产替代方案，新时达众为兴依托 23 年运动控制技术研发的深厚积累，以及超6万台机器人和运控产品的应用经验构建的运动控制技术底座，打造了全自主可控的晶圆传输机器人产品系列，全栈自研机器人本体和国内少有的可实现全自主可控的晶圆传输机器人驱控一体控制系统，自主掌握包括基于多核异构技术的驱控一体软件和硬件平台、多构型机器人运动控制算法、伺服电机和真空直驱电机驱动算法、低抖动的硬实时操作系统，以及满足半导体 SEMI S2 认证的控制器硬件设计。
推广应用
产品达到国际先进水平，关键技术包括驱控一体控制系统，多核异构架构、高速高精伺服控制技术，振动抑制技术、低抖动实时操作系统、满足高等级洁净间低发尘要求结构设计、满足高真空环境低发尘和耐真空结构设计、真空直驱电机伺服驱动技术等。
产品重复定位精度+0.05mm，洁净等级ISO Class2。经检测，通过德国莱茵 TUV 集团的半导体 SEMI 认证，通过上海国家机器人检测与评定中心的机器人洁净等级认证。
新时达众为兴半导体晶圆传输机器人系列，包括能应用在大气环境和真空环境的8大系列数十款不同型号的产品，能够覆盖热处理、清洗、刻蚀、薄膜、黄光、减薄、键合等半导体前道和后道工艺制程应用，产品可实现全面国产设备替代，已批量出货数百台应用于生产逻辑芯片、模拟芯片、功率芯片、传感器芯片、LED 芯片等十几家前道晶圆厂(FAB)。
半导体晶圆传输机器人所在的工业机器人细分市以 场，长期被进口品牌“卡脖子”。以美日为主的进口品牌占据了国内超 90%的市场份额。新时达众为兴半导体晶圆传输机器人系列为国产半导体设备商客户提供全栈自研全自主可控的产品，逐步打破进口品牌长达数十年的垄断，保障国家重点战略产业--半导体产业供应链安全，提升半导体产业链自主可控能力，促进行业技术进步。
